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400-0592-051

產(chǎn)品目錄

安徽貝意克前端預(yù)熱法硫化鉬制備設(shè)備

品名: 安徽貝意克前端預(yù)熱法硫化鉬制備設(shè)備
型號: BTF-1200C-400C
  • 產(chǎn)品詳情
  • 規(guī)格參數(shù)

 

  主要特點(diǎn)

  前端配有可加熱到400℃的預(yù)加熱器,輔助硫粉蒸發(fā),后端為雙溫區(qū)硫化爐,溫度控制精確,操作簡便。并配有氣氛微調(diào)裝置,可以準(zhǔn)確的反應(yīng)腔體內(nèi)部的氣體壓力,帶刻度的調(diào)節(jié)閥對于做低壓CVD非常實(shí)用,重復(fù)性好。

 


技術(shù)參數(shù)

硫粉預(yù)熱器

 

型號:BTF-400C

工作溫度:350℃

**溫度:400℃

*快升溫速率:30℃/min

推薦升溫速率:10℃/min

控溫方式:智能化30段可編程控制

工作電壓:AC220 V

額定功率:800W

控溫精度:±1℃

加熱元件:電阻絲

硫化爐

技術(shù)參數(shù)

額定功率(KW):3

額定電壓(V):AC220v  50/60 Hz

**溫度(℃):1200(1 hour)

持續(xù)工作溫度(℃):1100

升溫速率(℃/min):≤50

爐管尺寸(mm):高純石英管Φ50×1200mm

加熱區(qū)長度(mm):440mm

恒溫區(qū)長度(mm):200mm  

控溫方式:模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié),智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報(bào)警功能

控溫精度(℃):±1

加熱元件:電阻絲

供氣系統(tǒng)GMF-3Z

 

(質(zhì)子流量計(jì))

重量:35Kg

外形尺寸:600x600x650mm

連接頭類型:雙卡套不銹鋼接頭。

標(biāo)準(zhǔn)量程(N2):50sccm、200sccm、500sccm; (可根據(jù)用戶要求定制)

準(zhǔn)確度:±1.5%

線性:±0.5~1.5%

重復(fù)精度:±0.2%

響應(yīng)時(shí)間:氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec

工作壓差范圍:0.1~0.5 MPa

**壓力:3MPa

接口:Φ6,1/4''

顯示:4位數(shù)字顯示

工作環(huán)境溫度:5~45高純氣體             

內(nèi)外雙拋不銹鋼管:Φ6

壓力真空表:-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止閥:Φ6

低真空機(jī)組VAU-02

 

空氣相對濕度≤85%,

工作電電壓:220V±10%  50~60HZ 

功率:1千瓦

抽氣速率:4L\s

極限真空:4X10-2Pa

實(shí)驗(yàn)真空度:1.0X10-1Pa

容油量:1.1L

進(jìn)氣口口徑:KF25

排氣口口徑:KF25

轉(zhuǎn)速:1450rpm

噪音:50dB

外型尺寸:600×600×600mm