- 品名: 貝意克磁力拉桿式硫化鉬制備CVD設(shè)備
- 型號: BTF-1200C-CVD 磁力拉桿
- 產(chǎn)品詳情
- 規(guī)格參數(shù)
此設(shè)備特點(diǎn)是將硫粉放于左端冷區(qū),當(dāng)硫化過程開始時(shí)利用拉桿式將硫粉推進(jìn)熱場。控制電路選用模糊PID程控技術(shù),具有控溫精度高,溫沖幅度小,性能可靠,簡單易操作。同樣也適用于CVD工藝,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。
技術(shù)參數(shù)
爐管尺寸: | 外徑Φ25/50/60/80/100*1000mm(可選) | |
極限溫度: | 1200℃ | |
工作溫度: | ≤1100 ℃ | |
溫度控制器: | PID自動(dòng)控制晶閘管(可控硅)輸出功率, 30段可編程控制器 | |
升溫速率: | ≤50℃/min | |
加熱區(qū): | 200+200mm | |
恒溫區(qū): | 100+100mm | |
控溫精度: | ±1 ℃ | |
電源: | 單相220V,交流50Hz | |
3路質(zhì)量流量供氣系統(tǒng) (觸摸屏控制) | **電壓: | 185~245V/50Hz |
**輸出功率: | 18W | |
流量計(jì)標(biāo)準(zhǔn)量程: | 100 ,200,500SCCM (非特殊指定以氮?dú)鈽?biāo)定,量程可選定) | |
工作溫度: | 5~45 oC | |
工作壓差: | 0.1~0.5 MPa | |
**壓力: | 3MPa | |
準(zhǔn)確度: | ±1.5% FS | |
低真空系統(tǒng) | 抽速: | 8.11 m3/h |
極限總壓: | 3×10-3 mabr | |
進(jìn)排氣口: | DN 25 KF | |
噪音 (氣鎮(zhèn)開關(guān)時(shí),距離1米處測量) | 54 dB | |
注油量: | 0.7- 1.1 L | |
重量: | 21 Kg | |
工作溫度: | 10~40 ℃ | |
功率: | 550W |